(1)流量(liang)的(de)測量(liang)和控制不因溫度或壓(ya)力的(de)波動而失(shi)準。

對于多數流量測控系統而言，很難避免系統的壓力波動及環境和介質的溫度變化。對于普通的流量計，壓力及溫度的波動將導致較大的誤差；對于質量流量計/質量流量控(kong)制器，則(ze)一(yi)般可以忽(hu)略不計。

(2)測量控制的自動(dong)化。

質量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)計(ji)(ji)/質量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)控制(zhi)(zhi)(zhi)器可(ke)以將(jiang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)測量(liang)(liang)(liang)(liang)值以輸(shu)出(chu)標準電信號(hao)輸(shu)出(chu)。這樣(yang)很容易(yi)實現對(dui)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)的數(shu)字(zi)顯示、累(lei)積流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)自動計(ji)(ji)量(liang)(liang)(liang)(liang)、數(shu)據自動記錄、計(ji)(ji)算機(ji)管理(li)等。對(dui)質量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)控制(zhi)(zhi)(zhi)器而言，還可(ke)以實現流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)的自動控制(zhi)(zhi)(zhi)。通(tong)常，模擬的MFC/MFM輸(shu)入輸(shu)出(chu)信號(hao)為(wei)0～+5V或4～20mA，數(shu)字(zi)式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shu)字(zi)串行(xing)通(tong)訊口(kou)，能(neng)非常方(fang)便地與(yu)計(ji)(ji)算機(ji)連接，進行(xing)自動控制(zhi)(zhi)(zhi)。

(3)精(jing)確地定量控(kong)制(zhi)流量質量流量控(kong)制(zhi)器可以精(jing)確地控(kong)制(zhi)氣體的給(gei)定量，這(zhe)對(dui)很(hen)多工藝過程的流量控(kong)制(zhi)、對(dui)于不同氣體的比(bi)例控(kong)制(zhi)等特(te)別有(you)用(yong)。

(4)適用范圍寬。

有(you)很(hen)寬(kuan)的(de)(de)工作壓力范(fan)(fan)圍(wei)，我們的(de)(de)產品可(ke)以從(cong)真空直到10MPa；可(ke)以適用于多(duo)種氣(qi)體介質（包括一些腐蝕性氣(qi)體，如HCL）；有(you)很(hen)寬(kuan)的(de)(de)流量(liang)(liang)范(fan)(fan)圍(wei)，我們的(de)(de)產品小(xiao)流量(liang)(liang)范(fan)(fan)圍(wei)可(ke)達0～5sccm，流量(liang)(liang)范(fan)(fan)圍(wei)可(ke)達0～200slm。流量(liang)(liang)顯示的(de)(de)分辨率可(ke)達滿量(liang)(liang)程(cheng)(cheng)的(de)(de)0.1%，流量(liang)(liang)控制范(fan)(fan)圍(wei)是滿量(liang)(liang)程(cheng)(cheng)的(de)(de)2～100%(量(liang)(liang)程(cheng)(cheng)比為--50:1)，因此在很(hen)多(duo)領域(yu)得到廣泛應用。